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第一百八十九章:迎难而上,改变历史(求订阅!求月票!)(2 / 2)

一九九四年,岌岌可危的蔡司,终于决定对产线进行自动化改造时。为了不让蔡司拖阿斯慢的后腿,阿斯麦母公司非利浦,前后借给了蔡司三千九百万美刀改造产线。

自此,阿斯慢与蔡司形成深度合作关系。

此后,当蔡司出现服务其他公司迹象时,马里斯就会展现“外交才能”,要求蔡司只能向阿斯慢供货。

阿斯慢还拿下蔡司半导体光学部门24.9%的股权。

与供应商和客户建立了紧密联系的阿斯慢,在产品销售上也取得长足进步。

一九九三年,阿斯麦盈利一千一百万美刀,到了一九九四年,其净利润超过了二千万美刀。

一九九五年,阿斯麦终于在花旗国,和河兰的首都交易所上市,从成立算起,历时十一年。

花旗国是半导体的发源地,从晶体管到微处理器,再到DRAM(一种半导体存储器)和非易失性储存器,都是花旗国公司的产物。

二十世纪六十年代和七十年代初,花旗国一直是芯片市场的霸主。但到八十年代,岛国凭借DRAM成功崛起。

花旗国的光刻机产业,随着半导体主要市场的变化遭受重击,GCA走向落寞,尼糠逐渐的壮大了起来。

但花旗国并不愿意,拱手将光刻机市场让出。

六角大楼的工作人员表示:“这是我们不能失去的东西,否则我们会发现,自己要完全依赖海外制造者来指导,对我们来说最敏感的东西。”

这种意识确实超前。

为了把最先进的技术留在花旗国,一九九七年,英特尔和花旗国能源部牵头,成立了的EUV LLC联盟,希望能研发出EUV(极紫外线)光刻机,重拾半导体制霸权。

这个联盟有花旗国能源部,及其下属三大国家实验室,还有英特尔和摩托罗拉、AMD、IBM等科技公司。

花旗国人还需要挑选一个光刻机公司加入联盟,尼糠和AMSL都是不错的备选。

花旗国人显然不可能选用,崛起中的岛国企业,给自己制造麻烦。

于是,较为弱势的阿斯慢成功入伙。

作为回报,阿斯慢将替花旗国,把光刻机龙头的桂冠,从尼糠头上摘下。

阿斯慢用了两场战役,彻底将尼糠踩在脚下。

第一个关键的技术节点是,阿斯慢与台急电工程师宁本坚合作,用后者推崇的“浸润式光刻技术”,突破固有的制程限制。

宁本坚曾前往岛国宣传该技术,但尼糠等厂商并没有接受他的方案。

当时市面上的光刻机都是干式的,没有谁用液体做光刻机。

二零零四年,阿斯慢和台急电合作一年后,推出了第一台浸润式光刻机样机,波长能达到132nm,率先攻克芯片制程卡顿,并一举拿下IBM和台急电等大客户的订单。

尼糠虽然很快也推出了干式微影光刻机产品,但其光源只能做到157纳米,显然阿斯慢更胜一筹。

到二零零七年,阿斯慢的光刻机市场份额已达到百分之六十,首次超过尼糠。

而真正让阿斯慢封神的,还是独门的EUV(极紫外线)光刻机。

这项技术的突破,离不开强大的盟友们。

EUV联盟的几百位科学家,发表了大量论文研究EUV技术。

身处其中的阿斯慢,能最先了解EUV最新研发成果,也拥有花旗国最领先的半导体技术、材料学、光学以及精密制造,等技术的优先使用权。

作为交换,花旗国政府拥有对阿斯慢生产的监管权限。这也是为何今天花旗国会对阿斯慢有巨大话语权的原因之一。

EUV联盟在二零零三年,认为理论工作已经完成,便在当年解散。

所有的技术成果,都由阿斯慢所掌握,但直到二零一五年,阿斯慢才将EUV光刻机做到量产。

中间,因为花旗国顶级光源企业Cymer,一直搞不定EUV所需光源的研发,阿斯慢就在二零一二年将该公司收购了,投入重金全力研发EUV所需的光源。

资金不足时,阿斯慢就从客户手里掏钱。

二零一二年,阿斯麦提出“客户联合投资计划”,拿出百分之二十五的股份,邀请主要客户做联合投资,股东将拥有优先订货权。

英特尔、三星、台急电三家公司凑了五十二亿多欧元,支持EUV光刻机的研发,分别拿下了百分之十五,百分之五,百分之三的股份。

光刻机最难的是光源、晶圆曝光台、对准系统和镜头。

国产光刻机涉及几十个学科的顶尖难题,需要将这些难题都钻研一遍。

同时还得找到顶级的供应商。

阿斯慢百分之九十的零部件来自外部采购,但这些零部件都是阿斯慢和供应商共同研发的,专利在阿斯慢的手上。

物镜系统(镜头)是蔡司的,温控、光路修正系统等软件相关专利却是阿斯慢的。

没有这些专利,即使国内厂商拿到蔡司的镜头,也没法发挥蔡司镜头的功效。

阿斯慢近三十年时间,形成了一万多项专利,并且不断的收购,投资和合作开发,打造了整个光刻机的核心部件供应商体系。

顶级的光源,高精度的镜头和精密仪器制作技术,是EUV光刻机三大核心技术,阿斯慢的光源来自收购的子公司Cymer,镜头来自深度绑定的蔡司,精密仪器则自身拥有多年的经验和专利积累。

二十世纪六十年代,华夏也曾研究过光刻机,但在“造不如买”思想下,放弃了光刻机领域的研发。

回顾阿斯慢成为霸主的过程,高远的顶层规划,困境中的自身坚持,以及市场和技术的平衡,万中无一的运气,这些因素缺一不可。

追赶成了华夏的必选项,技术差距虽大,但有了星光科技公司的存在,相信必将会有改变历史的时刻。

现在是二零一零年,阿斯慢也还没有收购,花旗国的顶级光源企业Cymer,还没有生产出EUV,至少还没有进入量产,迎难而上,一切上应该都还来的及。

沪上微电子集团,是华夏国内唯一的一家,生产光刻机的公司,成立于二零零二年,虽然进步很快,但与国际上的几家光刻机生产企业的差距,仍然是非常的大,只能生产一些低端的光刻机,纳米级别的光刻机,要到二零一八年才能通过验收,而且是90纳米级别的光刻机。

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